میکروسکوپ الکترونی روبشی

نام دستگاه: میکروسکوپ الکترونی روبشی

نام انگلیسی: Scanning Electron Microscopy

شرکت سازنده : SERON TECHNOLOGY

کشور سازنده: کره جنوبی

مدل دستگاه‌: AIS2100

مشخصات فنی:

- نام نرم افزار مورد استفاده جهت آنالیز : AIS2100

- بزرگ نمايی : 15 تا300000 برابر

- قدرت تفکيک: 5/3 نانومتر

- ولتاژ شتاب دهی الکترونها:kV5/0 تا 30

- تصوير: تصوير الکترون های ثانويهSEI

- تفنگ اکترونی: فيلامان تنگستن

- دتکتور: آشکارساز الکترونهای ثانويه

تجهیزات جانبی دستگاه:

آشکارساز EDS اين آشکار سازبرای آناليز عنصری سطح نمونه به کار می رود. در حال حاضر اين آشکارساز فعال نيست.

قابلیت های دستگاه:

- ارائه خصوصیات سطح و توپو گرافی نمونه

-شکل، اندازه، نحوه قرارگیری ذرات و مورفولوژی در سطح نمونه

- پردازش تصاوير نمونه شامل رنگ آميزی، مقياس گذاری و...

"هزینه آزمون به صورت دقیقه ای می باشد."