آزمایشگاه خلاء و لایه نشانی

 

افراد و اطلاعات تماس:

سرپرست: آقای دکتر فرزاد محبوبی

کارشناس: خانم مهندس مژگان فلاحتی

محل استقرار: دانشگاه صنعتی امیر کبیر، آزمایشگاه مرکزی، طبقه اول

شماره تماس: 64545422-021

پست الکترونیکی: m.falahaty@aut.ac.ir

 
 

معرفی:

 

آزمايشگاه خلأ و لایه نشانی آزمایشگاه مرکزی در سال 1393 تاسيس و شروع به کار نمود. این آزمایشگاه مجهز به دستگاه لایه نشانی خلأ بالا، شامل فرایندهای اسپاترینگ، تبخیر حرارتی و قوس الکتریکی جهت ایجاد پوشش های هادی میباشد. در اين آزمايشگاه با بهره‌گیری از امکانات پیشرفته آزمایشگاهی و نیروی کارشناسی متخصص، امکان ایجاد لایه های نازک و پوشش های تک لایه، چندلایه را با کیفیت بالا جهت عموم محققان فراهم نموده است. بعلاوه این آزمایشگاه آماده است تا دوره های آموزشی یا خدمات مشاوره‌ای را نیز برحسب تقاضا جهت پژوهشگران محترم ارائه نماید.

 

تجهیزات:

- سامانه لایه نشانی کندو پاش؛ تبخیر حرارتی؛ قوس الکتریکی

 

نام دستگاه: لایه نشانی PVD

شرکت سازنده: شرکت یارنیکان صالح        

کشور سازنده: ایران

 

قابلیت های دستگاه:

لایه نشانی به روش اسپاترینگ: با انواع تارگت های رسانا مانند مس، تیتانیوم،

تانتالیوم، ... و همچنین استفاده از گازهای واکنشی مانند نیتروژن و کربن جهت

تشکیل لایه های نیتریدی و کربید

 

 تجهیزات:

تارگت تیتانیوم، تانتالیم، مس، نقره، آلومینیوم

گازهای نیتروژن، آرگون و متان

 

لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی: جهت ایجاد لایه های نازک مواد با نقطه ذوب پایین مانند کروم، سرب، طلا، آلومینیم، مس و .... 

 

لایه نشانی به روش قوس الکتریکی( cathodic arc evaporation)

با توجه به یونیزاسیون بالای مواد تبخیر شده در روش آرک، پوشش ایجاد شده بر روی زیرلایه چسبندگی عالی خواهد داشت و نسبت به سایر روش های لایه نشانی، نرخ پوشش دهی و تبخیر بالاتر میباشد. با استفاده از این روش میتوان پوشش های TIN, TIC, TICN, TIALN, ZRN,CRN  و ... را لایه نشانی نمود.

سایر ر

  

 

                   

  

 سامانه لایه نشانی اسپاترینگ رومیزی

 مدل دستگاه: Desk Sputter Coater DST3-A

شرکت سازنده: شرکت پوشش های نانوساختار

 کشورسازنده: ایران

این دستگاه ابزاری مفید برای لایه نشانی تک لایه های فلزی مانند طلا، نقره، پلاتین و ... به روش کندوپاش در محیط خلأ است.

اصلی ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش دهنده نمونه های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی(SEM) می باشد.همچنین از این دستگاه به منظور ایجاد اتصال های فلزی بسیار ظریف و یا  ایجاد کاتالیست های فلزی بر روی انواع سطوح می توان استفاده نمود 

 

 

 

التراسونیک هموژنایزر

از مهم ترین کاربردهای دستگاه می توان به عامل دار کردن نانوتیوب کربنی، تسریع واکنش‌های شیمیایی، متلاشی کردن دیواره سلولی و سنتز نانوساختارها اشاره کرد. فرکانس کار آن 24KHZ است که مشابه فرکانس اکثر دستگاههای موجود، برای کاربردهای مشابه است. دستگاه مجهز به تایمر است و قابلیت تنظیم  بر اساس کارکرد پیوسته و پالسی را دارد که کارکرد پالسی آن از 0/1 تا 0/9 ثانیه قابل تنظیم است. فرکانس تشدید دستگاه بصورت لحظه به لحظه با سیگنال فید بک تنظیم می شود لذا محیط و شرایطی مختلفی که پروب در آن قرار می گیرد   باعث خارج شدن آن از تشدید نمی شود.  

 

مشخصات فنی:

تنظیم توان خروجی از 10 درصد تا 100 درصد

قابل استفاده بصورت پالسی و پیوسته

امکان هموژن کردن تا حجم 2 لیتر محلول

دارای پروب تیتانیومی با نوک 4 میلی متر

قابل استفاده برای محلول‌های با حجم بسیار اندک

مناسب برای پژوهش‌های بیولوژی و بیوتکنولوژی

  

                                   

 

 

تعرفه خدمات:

شرح خدمات

هزینه انجام آزمون برای دانشجویان دانشگاه امیرکبیر

هزینه انجام آزمون برای دانشجویان سایر دانشگاهها

هزینه انجام آزمون بدون در نظر گرفتن تخفیف دانشجویی

لایه نشانی به روش های اسپاترینگ، تبخیر حرارتی و قوس الکتریکی

هر بار لایه نشانی 1000000 ریال

1500000 ریال

2000000 ریال

لایه نشانی اسپاترینگ جهت ایجاد پوشش رسانا

هربار لایه نشانی 250000 ریال

400000 ریال

600000 ریال